Substrát z nitridu hliníka

mullitsubstrát(3 a1203. 2Si02): je jednou z najstabilnejších kryštálových fáz v binárnom systéme A1203-Si02, hoci mechanická pevnosť a tepelná vodivosť sú v porovnaní s A1203 nízke, ale jeho dielektrická konštanta je nízka, takže sa očakáva ďalšie zlepšenie signálu prenosová rýchlosť. Koeficient tepelnej rozťažnosti je tiež nízky, čo môže znížiť tepelné namáhanie LSI, a rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti materiálu vodiča Mo, W je malý, čím je medzi vodičom počas cyklovania nízke napätie.

hliníknitridový substrát:
a. Surovina: AIN je neprirodzený, ale umelý minerál v roku 1862, prvýkrát ho syntetizovali Genther et al. Znázornenie zastúpenia Aln prášku má znížiť nitridovú metódu a priamu nitridačnú metódu. Prvý z nich reaguje s redukciou uhlíka vysokej čistoty v A1203 a potom reaguje s dusíkom a druhý je priamo nitridovaný. ;

b. Spôsob výroby: A1203substrátvýroby možno využiť pri výrobe substrátov AIN, kde sa maximálne využije metóda organickej laminácie, to znamená prášková surovina AIN, organické lepidlo a rozpúšťadlo, povrchovo aktívna zmes keramická kaša, pasír, laminát, lis za horúca, odmasťovanie, pálenie

C. Charakteristiky substrátu AIN: AIN je viac ako 10-násobný a CTE zodpovedá kremíkovej doštičke. Materiál AIN je relatívne príbuzný s A1203, izolačný odpor, izolácia a dielektrická konštanta sú nižšie. Tieto vlastnosti sú veľmi zriedkavé pre aplikácie obalového substrátu;

d. Použitie: Používa sa pre modul pásového zosilňovača VHF (Ultra High Frequency), vysokovýkonné zariadenie a substrát laserovej diódy.